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中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997标准

作者:上海创洋水处理设备有限公司   更新时间:2011-10-21

中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别
        指标 
EW-I
EW-II
电阻率MΩ.cm(25℃)
18以上(95%时间)不低于17
15(95%时间)不低于13
硅≤µg/l
2
10
>1µM微粒数≤个/ml
0.1
5
细菌个数≤个/ml
0.01
0.1
铜≤µg/l
0.2
1
锌≤µg/l
0.2
1
镍≤µg/l
0.1
1
钠≤µg/l
0.5
2
钾≤µg/l
0.5
2
氯≤µg/l
1
1
硝酸根≤µg/l
1
1
磷酸根≤µg/l
1
1
硫酸根≤µg/l
1
1
总有机碳≤µg/l
20
100